Vakuum komponente

Hittebehandeling sluit hoofsaaklik oksidasie-, diffusie- en uitgloeiingsprosesse in.Oksidasie is 'n byvoegingsproses waarin silikonwafels in 'n hoëtemperatuur-oond geplaas word en suurstof bygevoeg word om daarmee te reageer om silika op die oppervlak van die wafer te vorm.Diffusie is om stowwe van die hoë konsentrasie area na die lae konsentrasie gebied te beweeg deur molekulêre termiese beweging, en die diffusie proses kan gebruik word om spesifieke doping stowwe in die silikon substraat te doteer, en sodoende die geleidingsvermoë van halfgeleiers te verander.